东京精密和Carl Zeiss技术的融合XYZAX 机型与世界唯一的动态扫描技术相结合。机器所使用的Calypso 测量程序和AI智能识别功能（东京精密已申请了国际专利），使得任何人都能轻松的完成扫描测量。
VAST测头是一款动态扫描的测头在保持测力方向与法线方向（与测量面垂直）相同的同时，保证了测力的恒定，这种功能目前只有通过Carl Zeiss的动态扫描技术才可以实现。这被称为实时扫描技术。
测量精度与新的JIS規格相对应(JIS B 7440-2 2003)。测量精度可以保证在MPEE=1.9+4L/1000μm。实测值参照下面的数据。确保扫描精度为MPETHP=2.8μm。多种测量配件可以满足客户提出的特殊需求，在标准配置的测针上增加300mm的测量延长杆，仍能保证MPETHP=5.8μm的精度。
