机床特点：
■ 采用具有自主知识产权，获得国家科技进步一等奖的超精密气体静压主轴，确
保超高的回转精度。
■ X轴、Z轴采用高精度气体静压导轨，确保运动的直线性和平稳性。
■ 采用高精度双频激光干涉仪作为位置反馈元件，确保高精度运动定位。
■ 采用高分辨率、高速控制器及专用数控软件实现超精密数控加工。
■ 具有车削、铣削加工功能，可以精密加工各种平面、球面．非球曲面、多面体
等零件。
| 主要技术参数： |
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内 容
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项 目
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值
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| 机 床 规 格 |
□ 最大加工件直径 |
￠820mm |
| □ 最大加工长度 |
400mm |
| □ 加工件重量 |
80kg |
| □ 数控系统分辨率 |
0.001μm |
| □ 激光位置反馈分辨率 |
0.01μm |
| 机 械 精 度 |
□ 主轴径向跳动 |
0.05μm |
| □ 主轴轴向跳动 |
0.05μm |
| □ 主轴静刚度 |
150N/μm |
| □ 主轴转速 |
0～1000r/min |
| □ 溜板直线性 |
0.1μm/200mm |
| □ 溜板刚性 |
300N/μm |
| 加工件精度
（有色金属）
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加工平面、圆柱面 |
□ 圆度 |
0.3μm（￠50mm零件） |
| □ 表面粗糙度 |
Ra≤0.005 |
| 非球曲面 |
□ 面形精度 |
0.3μm（￠50mm孔径） |
| □ 表面粗糙度 |
Ra0.01 |
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