主要技术参数：

1、方形玻璃基片尺寸：127-0.50×127-0.50×2.3±0.1mm

2、主轴转速：200～6000RPM  精度：±10RPM 增量：1RPM

3、主轴最大加速度：8000RPM／s（只对涂胶机）

4、热板温度：室温～200℃，精度：±1℃

5、滴胶量：0～38ml可调，

6、可靠性：MTBF≥150h   MTTR≤2h

7、工艺工步时间：999.9秒 增量：0.1秒

8、外形尺寸（L×W×H）：1920mm×545mm×1120mm

9、重量：800公斤

10、电源条件：220VAC±10%，50Hz、10A

11、供氮气条件：0.4MPa,纯度99.99%外接外径为Ф6mm,内径为Ф4mm氮气管

12、    供真空条件：

总抽气量120dm3/min

真空度为-0.085Mpa

外接管径为：外径Ф6mm内径Ф4mm

13、排风：

抽风量2.83m3/min

最小压强124Pa

排风管径为Ф100mm