主要特征:
横梁与 Z 轴采用表面阳极化航空铝合金，温度一致性极佳；并降低了运动部件的质量，减少测量机在高速运行时的惯性
三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损
三轴均采用高精度进口光栅尺
X向采用精密三角梁专利技术，相比矩形梁和横梁，重心更低，质量刚性比最佳，运动更加可靠
REFLEX测量软件，操作简便，运行可靠
Y向采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性（适用于564和686机型）
符合人机工程学的设计
规格型号与技术指标:
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注：工作环境为 温度(20±2)℃，湿度55%-65%
