实现工作台最小驱动10纳米通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。
标准搭载高性能加工液冷却装置通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。
主要构造采用陶瓷由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。
