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产品特点： 1 、非接触式测量：避免对象受损。 2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。 3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。 4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。 5、高速数字讯号处理器：实现测量仅需要几秒钟。 6 、扫描仪：采用死循环控制系统。 7、工作台：气动装置、抗震、抗压。 8 、测量软件：基于windows 操作系统的使用者接口，强大而快速的运算。 | ||||||||
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应用领域： 1、半导体芯片 2、液晶产品（CS,LGP,BIU） 3、微机电系统 4、光纤产品 5、资料存储盘（HDD,DVD,CD） 6、材料研究 7、精密加工表面 8、生物医学工程
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