主要用于制造生产高像素塑料镜片的高精密塑料模具
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•高精度空气静力轴承主轴(研磨主轴、工作主轴)
精密损耗精度
除了高速、高精度、高刚性、低发热性和高可靠性,还实现了精密损耗精度
研磨主轴:20nm/SPAM
工作主轴:5nm/SPAM (*1)
(*1) 通过“单点异步误差运动”方法测量
考虑生态环境
高精度空气静力轴承主轴配有多孔限流器,可实现稳定化和精致的加工表面,多孔限流器大大减少了空气消耗,本公司根据惯例实现了 1/6 比率的空气消耗量,因此,有利于节能减排。
高精度滚针V-V导轨
高可重复性,高加工效率
超低摩擦力导轨整合了本公司的原创高研磨技术和精选高精度轧辊,对纳米范围进给速率响应度高,消除了逆向进给的延迟。该导轨系统的刚性和稳定性高于静液压/空气静力轴承导轨,但精度能保持相似。
考虑生态环境和空间节省
没有静态导轨常见的流体温度波动,确保了稳定的精度,同时无需使用液压装置之类的设备,即节省空间又节省能源。
轴驱动技术
优化的设计
在考虑性价比的前提下,针对每种机器类型和轴优化设计了滚珠螺杆驱动系统和线性马达驱动系统。
考虑高精致加工
通过采用滚珠螺杆驱动系统,我们开发并利用独特的耦合器,解决了滚珠螺杆旋转所造成的常见应力和振荡问题。
特点一
最小的加工指令可以达到0.1纳米
大幅度提升模具性能精度
特点二
高精度/高刚性
V-V滚动导轨面
高重现性
高加工效率
利用东芝自身具备的
高水平研磨技术
以及他们精选的
超精密金属滚轮
这两者组合得来的超低摩擦导轨,具有微细送料的高追随性,并可消除反转时候的延迟,跟油压/空气静压导轨相比,实现高刚性以及稳定性同时确保同等精度
带芯线性马达驱动,实现最高水平的加工重现性
特点三
超精密空气静压轴承主轴
实现了基于数控支持的高响应性
磨削主轴:20nm/SPAM
工件主轴:5nm/SPAM
SPAM测量方法
Single Point Asynchronous Error Motion
多孔质空气静压轴承
实现稳定高品质的加工面同时,大幅度减少空气消费量
节能环保