工作台直径

ɸ200

ɸ300

机器配置

1支主轴 / 1个旋转工作台

1支主轴 / 1个旋转工作台

主轴

型式

气静压主轴

气静压主轴

主轴数量(mm)

1

1

伺服马达功率

3.7 kw

15

刀具

ɸ250 (mm) 钻石砂轮

ɸ350 (mm) 钻石砂轮

转速(rpm)

Min1000 ~ Max 3000 rpm

Min1000 ~ Max 3000 rpm

Z 轴

行程

100 mm

200

进给分辨率

0.1μm

0.1μm

最大快速移动速度

300 mm / min

300 mm / min

工作台

行程

气静压工作台

气静压工作台

工作台数

1

1

最大转速

500 rpm

500 rpm

工作台面积(mm)

φ200 mm

φ300 mm

最大承载重量

15 kg

20 kg

尺寸

机器重量(Kgs)

2000 kg

3000kgs

机器作业空间 (长×宽x高)

1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm

1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm

加工精度

TTV
表面粗度

1.5 μmRa
0.02μm（硅晶圆）

1.5 μm/Ra
0.02μm（ 硅晶圆）