美国穆尔纳米技术公司是世界级超精密加工系统和技术研发专家。
超精密纳米加工系统,包括:单点金刚石车削、超精密磨削、超精密铣削、玻璃模压技术等。
1、250UPLmp超精密数控连续轨迹加工机床(可选配为二、三或四轴机床)
型号:250UPL
回转能力:300mm (可定制更大回转能力)
机床特性:
• 业界领先的激光全息线性光栅尺,反馈分辨率 8.4皮米;
• 整体式复合大理石床身结构,紧凑型空间设计,优化空气隔震系统(可选配自
动调平阻断式空气隔震系统),提高热稳定性和减震性;
• 全约束式油静压导轨,提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能;
• 通过网络可进行实时设备监控以及远程 操作控制;
• Nano SMART– 业界首款触摸/ 滑动操作界面,应用了大量新功能,其中包括运行程序文件大小:最高可达5GB;
• 高刚性多孔石墨涂层空气主轴,最高转速响;5000RPM. 优化参数减少主轴跳动影响。
• 主轴轴向跳动 ≤4nm ;
• 高刚性整体人造花岗岩床身增强型微调刀座,改善表面粗糙度,改善整体加工面的车刀纹;
• 移动轴跟随误差减少40%;
• 预埋排液槽,适合大流量冲液加工;
• 可实现两轴对称或自由曲面加工;
• ARM 4 PMAC 配备核处理器 1.2GHZ DELTA TAU POWER四核 ARM;
• 支持同时计算高密度数据刀具路径和运 行监控,在整个加工过程中实现 PMAC数据和系统运行状况的传输。
Nanotech 250UPLmp技术指标表
主机 描述
系统配置 超精密 2、3 或 4 轴 CNC 机床,“
T”型布局 最大加工范围250UPLmp:直径 300mm x 长 200mm (选配 B 轴时候加工口径为 150mm)
床身结构 250UPLmp:整体复合环氧树脂花岗岩一体化冷却槽和嵌入碳素纤维加固
隔震装置 优化空气隔震系统。可选配自动调平阻断式空气隔震系统
计算机配置 Intel i5 2.4GHz处理器,64位Windows 10专业版,16G内存,10/100/1000以太网接口,DVD 光驱以及500GB 硬盘,22" 多点触摸屏,USB接口
控制系统 基于Delta Tau 1.2GHz四核 ARM PowerPMAC嵌入式实时64位Linux 运动控制器,采用 Nanotech 的新产品基于Windows 10的人机界面,带有触摸/ 滑动手势交互显示。
编程分辨率 线性分辨率 0.01 nm/ 角度分辨率 0.0000001°
性能表现(X/Z两轴车削)( 使用 Zygo Nuview白光干涉仪测量,没有安装B轴情况下) :材料-高磷镀镍,直径7.75mm , 4.5mm曲率半径凸球面表面粗糙度(Sa):1.0 nm(测量时采用50 倍物镜和2倍目镜,同时使用10 阶多项次滤波)在 0°(使用遮罩排除因为刀具高度或者刀具中心变化而产生的中心点)、10°、20°和 30°测量。
主轴 标准指标
类型 专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却 通过闭环控制冷水机,提供温度控制循环冷却水,透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却,以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为土 0.1℃的内置 PID 控制器。
转速范围 50 至 5,000 rpm ( 双向 )
加工口径 300mm
承载能力(径向)85 Kg @ 7bar(185 lbs @ 100psi.)/102 Kg @ 10bar(225 lbs @ 145psi.) @鼻端
承载能力(轴向)180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @鼻端
径向刚性(鼻端)130 N/μm @ 7bar (743,000 Ibs/in @ 100psi)
轴向刚性 438 N/μm @ 7bar (2,500,000 Ibs/in @ 100psi)
驱动系统 无刷直流电机
跳动误差(最高3000rpm) 轴向:≤ 4.0 nm 径向:≤ 10.0 nm 25UPR 滤波条件下测量
线性轴 | X | Z |
类型 | 全约束油静压,闭式导轨 | 全约束油静压,闭式导轨 |
行程 | 250mm (10.2") | 200mm (8") |
驱动系统 | 无刷直流直线电机 | 无刷直流直线电机 |
反馈类型 | 激光全息线性光栅尺 | 激光全息线性光栅尺 |
反馈分辨率 | 0.0084 nm | 0.0084 nm |
进给速度(最大) | 4500 mm / min | 4500 mm / min |
直线度(在关键方向 ) | 250UPLmp:全行程0.2μm | 250UPLmp:全行程0.2μm |
静压油装置 | 紧凑,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及减少油泵波动的压力增量器 |
选配旋转轴 | B | C(主轴选配) |
类型 | 油静压轴承 | 多孔石墨涂层空气轴承(液体冷却) |
行程 | 360°(双向) | 360°(双向) |
驱动系统 | 无刷直流电机 | 无刷直流电机 |
轴向刚性 | 875 N/μm | 详见上述主轴指标 |
径向刚性(鼻端) | 260 N/μm | 详见上述主轴指标 |
定位精度 | ±1.0 弧秒(经补偿) | ±1.0 弧秒(经补偿) |
反馈分辨率 | 0.005 弧秒 | 0.01 弧秒 |
最大速度(定位模式) | 50 rpm | 3,000 rpm |
跳动精度 | 轴向:≤0.1μm 径向:≤0.1μm | 轴向:≤0.1μm 径向:≤0.1μm |
咨询电话:135 2207 9385
2、Moore Nanotech® 250UPLV3, 450UPLV3超精密数控连续轨迹加工机床(可选配为二、三或四轴机床)
型号:450UPLV3
回转能力:450mm(可定制更大回转能力)
型号:250UPLV3
回转能力:300mm(可定制更大回转能力)
机床特性:
• 10,000 rpm,专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴–全转速范围内主轴跳动小于12.5纳米,C
轴反馈分辨率为 0.01弧秒;
• 业界领先的激光全息线性光栅尺,反馈分辨率8.4 皮米;
• 采用天然花岗岩床身,紧凑型空间设计,优化空气隔震系统(可选配自动调平阻断式空气隔震系统),提高热稳定性和减震性;
• 全约束式油静压导轨,提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能;
• Delta Tau ARM四核处理器,包括DAQ高速数据传输模块。与单核处理器相比,计算能力提高了4倍,并且能够在整个加工过程中监控机器运转状况以便优化流程;
• 专用以太网 / 局域网连接允许工厂(或客户)实时监控和控制机器,实现远程控制机床所有功能,以便对任何控制或编程问题进行即时诊断和故障排除;
•Nano SMART – 业界首款触摸 / 滑动操作界面,应用了大量新功能,其中包括运行程序文件大小:最高可达 5GB;
• 可选配件:可拆卸油静压垂直Y 轴,旋转工作台B 轴,主轴内置任意定位控制C轴,超精密磨削砂轮主轴以及磨削附件,快刀伺服系统,光学对刀仪,喷雾式冷却系统,真空吸盘,微调式刀座,NanoCAM4 编程软件,机床在线测量和误差补偿系统(WECS)以及温控系统。
Nanotech 250UPLV3 / 450UPLV3技术指标表
主机 描述
系统配置 超精密 2、3 或 4 轴 CNC 机床,“T”型布局
最大加工范围 250UPLV3:直径300mm x长200mm(选配B轴时候加工口径为150mm)
450UPLV3:直径450mm x长300mm(选配B轴时候加工口径为200mm)注:可定制更大的加工口径。
床身结构 250UPLV3:天然花岗岩床身配有导油槽,不锈钢护罩保护
450UPLV3 :整体复合环氧树脂花岗岩一体化冷却槽和嵌入碳素纤维加固
隔震装置 优化空气隔震系统。可选配自动调平阻断式空气隔震系统
计算机配置 Intel i5 2.4GHz处理器,64位Windows 7,16G 内存,10/100/1000以太网接口,DVD-RW 光驱以及 500GB 7200RPM移动硬盘,22"多点触摸屏,USB接口
控制系统 基于Delta Tau 1.2GHz四核ARM PowerPMAC嵌入式实时64位Linux运动控制器,采用Nanotech的新产品基于Windows 10 的人机界面,带有触摸/滑动手势交互显示。
编程分辨率 线性分辨率 0.01 nm/ 角度分辨率 0.0000001°
性能展示 (使用激光干涉仪或者白光干涉仪测量同一个元件):
材料- 高纯度铝合金,75mm口径, 250mm曲率半径凸球面(所有精度和粗糙度的测量在同一个元件的同一表面完成)面型精度(P-V):≤ 0.1μm / 表面粗糙度(Ra):≤ 2.0 nm
主轴 标准指标
类型 专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却 通过闭环控制冷水机,提供温度控制循环冷却水,透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却,以达到维持主轴和刀具 中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为土 0.5°F 的内置 PID 控制器。
转速范围 50至10,000 rpm (双向)
加工口径 250UPLV3:300mm
450UPLV3:450mm
承载能力(径向)85 Kg @ 7bar(185 lbs @ 100psi.)/102 Kg @ 10bar(225 lbs @ 145psi.) @鼻端
承载能力(轴向)180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @鼻端
径向刚性(鼻端)130 N/μm @ 7bar (743,000 Ibs/in @ 100psi)
轴向刚性 438 N/μm @ 7bar (2,500,000 Ibs/in @ 100psi)
驱动系统 无刷直流电机
跳动精度 轴向:≤ 12.5 nm 径向 :≤ 12.5 nm
选配旋转轴 | B | C(主轴选配) |
类型 | 油静压轴承 | 多孔石墨涂层空气轴承(液体冷却) |
行程 | 360°(双向) | 360°(双向) |
驱动系统 | 无刷直流电机 | 无刷直流电机 |
轴向刚性 | 875 N/μm | 详见上述主轴指标 |
径向刚性(鼻端) | 260 N/μm | 详见上述主轴指标 |
定位精度 | ±1.0 弧秒(经补偿) | ±1.0 弧秒(经补偿) |
反馈分辨率 | 0.005 弧秒 | 0.01 弧秒 |
最大速度(定位模式) | 50 rpm | 3,000 rpm |
跳动精度 | 轴向:≤0.1μm 径向:≤0.1μm | 轴向:≤12.5nm 径向:≤12.5nm |
3、Moore Nanotech® 650FGV3超精密自由曲面机床( 可选配为三、四或五轴机床 )
机床特性:
• 适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工,慢刀伺服(旋转式)进行自由曲面加工,栅格飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工;
• 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴– 全转速范围内主轴跳动小于12.5 纳米,C轴反馈分辨率为0.01 弧秒;
• 业界领先的激光全息线性光栅尺,反馈分辨率8 皮米;
• 优化空气隔震系统(可选配自动调平阻断式空气隔震系统),全约束式油静压导轨,X
轴行程350mm,Z 轴行程300mm,Y轴垂直行程 150mm;
• Delta Tau ARM四核处理器,包括DAQ高速数据传输模块。与单核处理器相比,计算能力提高了4 倍,并且能够在整个加工过程中监控机器运转状况以便优化流程;
• 专用以太网 / 局域网连接允许工厂(或客户)实时监控和控制机器,实现远程控制机床所有功能,以便对任何控制或编程问题进行即时诊断和故障排除;
•Nano SMART –业界首款触摸 / 滑动操作界面,应用了大量新功能,其中包括运行程序文件大小:最高可达 5GB;
• 可选配件:旋转工作台B 轴,主轴内置任意定位控制C轴,A 轴,超精密铣削和磨削主轴以及附件,快刀伺服系统,光学对刀仪,喷雾式冷却系统,真空卡盘,微调式刀座,
NanoCAM4 编程软件,机床在线测量和误差补偿系统(WECS)以及加工区精密温控系统。
Nanotech 650FGV3技术指标表
主轴 标准指标
类型 专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却 通过闭环控制冷水机,提供温度控制循环冷却水,透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却,以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为土 0.5°F的内置 PID 控制器。
安装 嵌入式安装于 Y 轴托架,以增强外圈刚性并降低热增长。主轴轴心安装于绝热外壳内以增强热稳定性
转速范围 50 至 10,000 rpm ( 双向 )
加工口径 最大到 750mm
承载能力(径向)85 Kg @ 7bar(185 lbs @ 100psi.)/102 Kg @ 10bar(225 lbs @ 145psi.) @鼻端
承载能力(轴向)180 Kg @ 7bar(397 lbs @ 100psi.) @鼻端
径向刚性(鼻端)130 N/μm @ 7bar (743,000 Ibs/in @ 100psi)
轴向刚性 438 N/μm @ 7bar (2,500,000 Ibs/in @ 100psi)
驱动系统 无刷电机
跳动精度 轴向:≤ 12.5 nm 径向:≤ 12.5 nm
选配旋转轴 | B | C(主轴选配) |
类型 | 油静压轴承 | 空气轴承沟槽补偿(液体冷却) |
行程 | 360°(双向) | 360°(双向) |
驱动系统 | 无刷直流电机 | 无刷直流电机 |
轴向刚性 | 875 N/μm | 详见上述主轴指标 |
径向刚性(鼻端) | 260 N/μm | 详见上述主轴指标 |
定位精度 | ±1.0 弧秒 | ±1.0 弧秒 |
反馈分辨率 | 0.005 弧秒 | 0.01 弧秒 |
最高转速(定位模式) | 50 rpm | 3,000 rpm |
跳动精度 | 轴向:≤ 0.1μm 径向:≤ 0.1μm | 轴向:≤ 12.5nm 径向:≤12.5nm |
4、Moore Nanotech® HDL2600超精密卧式数控辊筒车床( 可配置为四轴或五轴机床 )
机床特性:
• 基于P C的数控操作系统,运行于Windows XP环境,编程分辨率为1纳米;
• 业界领先的激光全息线性光栅尺和直线解码器,X轴反馈分辨率:0.034纳米,Z轴反馈,分辨率:1纳米;W轴反馈分辨率:100纳米;
• 数控可编程W轴,集成“NanoLock”液压制动系统(在加工过程中提供最高的尾座刚性,又利于灵活快速装卸载)
• 全约束式油静压导轨,提供平顺、高刚性和出色减震能力的线性运动性能;
• 线性电机快速驱动,提高工艺效率和表面质量,维护方便;
• 独有油静压主轴箱(带C轴)和尾座主轴,配主轴恒温冷却系统以提高热稳定性;
• 加工范围:HDL2600-SD -直径650mm,卡盘间长度3100mm,车削区间2600mm,最大载重1800kg;HDL2600-HD -直径650mm,卡盘间长度3100mm,车削区间2600mm,最大载重3000kg;
• X 轴行程:350mm,Z 轴行程:2615mm,W轴行程:2000mm;
• 可选配件:油静压旋转工作台B轴,快刀伺服系统,光学对刀仪,温控风淋系统,NanoTEMP
温度监控系统,NanoBalance动平衡软件,喷雾式冷却系统,废屑收集系统。
Nanotech HDL2600-SD / HDL2600-HD技术指标表: