光学计量
光学计量指的是一组表征技术,这些技术涉及光的检测和测量:
a)光源发射的光,或b)被检查元件反射或透射的光。
它们可以从一个或多个角度进行,具体取决于被分析对象的要求。
白光干涉测量法、光学显微镜、共聚焦显微镜、光谱学、椭圆偏振测量法或反射计是一些最常用的技术。
与其他传统测量方法相比,它们是非接触的、无损的、准确的、快速的和可靠的。
这些特性使它们成为检验、质量控制和过程控制目的的不同应用中的一个很好的解决方案。
微光学和光学元件、医疗设备和产品、电子显示器或汽车零部件的新发展推动了对更精确制造工艺的需求,从而推动了计量工具的发展。
除了通常对越来越高的分辨率和精度的要求外,如今测量更复杂的结构和更大尺寸或更宽角度的特征是至关重要的。
光学计量和工业数字化
最近的发展使智能多传感器系统或虚拟计量等创新成为可能,将计量的作用从仅仅的后期生产活动转变为实时检查和分析过程。
通过工业4.0相关技术实现工厂数字化的增加,导致了不同生产设备、机器或流程的数据收集和使用。
光学计量技术成为快速控制和验证解决方案,通常与自动定位系统或工业机器人相结合。
这些测量设备可以在装配和生产单元附近工作,在工艺之前、期间和之后进行检查,并存储与每个产品相关的数据。
通过这种方式,可以在制造过程中获得关于工件特性的所有相关信息,然后为了质量控制的目的进行分类等操作。
光学元件制造
光学元件的制造不仅需要精确地制造和抛光,还需要精确地测量。
该行业已经建立了多种计量技术,用于测量不同的关键参数(曲率半径、平面度、粗糙度、薄膜厚度、透射率…),包括共焦显微镜、椭圆测量术或干涉测量术等等。
激光干涉仪的咨询电话:13522079385
半导体和消费电子
半导体行业的生产要求非常高。
首先,由于目标是每小时制造尽可能多的晶圆,因此存在很大的时间压力,并且所涉及的所有过程必须非常快和/或提供非常及时的故障检测和控制回路。
其次,所用材料的高成本意味着不生产坏零件至关重要。
光学计量解决方案是高速测量和缺陷检测的完美选择,近年来已经对几种技术进行了调整,以满足该行业的特殊要求。
它们现在已经成为半导体生产中的重要工具,以检查日益复杂和小型的3D结构,以及所生产的厚度要求低至纳米的薄层。
结论
光学测量技术正越来越多地应用于各种不同的行业,在一些应用中,它们已被证明是执行质量和过程控制的最有效和最通用的工具。
最近的发展重点是解决以前系统的一些局限性,并以更高的精度测量半导体、消费电子、汽车、光学元件和医疗行业的新的、要求更高的产品和功能。
市场上有一个明显的趋势,即将这些解决方案集成到机械臂和其他定位系统中,以执行现场测量并在制造过程中实时提供有价值的信息。