辊型模具上的直线棱镜、十字棱镜加工等加工实例

槽深：20μm 周期：70μm

节距：70μm　

槽数：11,428

材质：化学镀镍磷

尺寸：φ300×1000mm　

加工机：RG-800S4-N2

槽深：21μm

节距：50μm

材质：无氧铜

尺寸：φ120×40mm　

加工机：NIC-300S5-N5

特征

四轴联动纳米控制超精密车床，可进行各种轧辊模具的微加工。

1. 使用同步 4 轴纳米控制进行多种辊微加工。

通过4轴同时控制*，可在最大2000×φ805mm的卷筒上加工各种微细槽、螺旋槽、十字棱柱等图案槽（*可控制包括芯片喷嘴轴在内的7轴） ， ETC。） ）。该机床加工点刚性强，专为长时间加工而设计。

2.可以以极高的精度旋转和分度重1t和2000mm的大型工件。

旋转/分度 (C) 轴采用高刚性非接触式轴承和压脚机构。可夹持重量超过1吨的工件而不变形。此外，最初为纳米加工机开发的DD分度器实现了高达400转/分钟的高速旋转和2/100000°的高精度分度。在所有区域实现小于1μm的圆度和小于±0.25秒的重复定位重复精度，可以以前所未有的精度进行各种类型的精细滚压加工。

3.终极直线度精度和同步精度。

高刚性、超精密刀具分度轴。

前/后 (X) 和左/右 (Z) 轴采用空心杯直线电机和非接触式静压导轨。刀塔旋转（B）轴还采用独特的超高精度、高刚性分度机构。凭借亚微米级的直线运动精度和优异的热位移特性，即使长时间也可以进行重复性高的加工。它还在纵向和横向轴上的插补运动中实现了出色的跟随性。

4、追求加工效率和质量的独特功能。

标准情况下可以自动更换多达 4 组咬合的工具。另外，NC控制可通过跟踪加工点来吸引切屑。强大的真空泵和形状理想的喷嘴可防止加工缺陷。

5、彻底消除外界干扰的影响。

标准配备薄型主动隔振台。可以在不受外部干扰影响的情况下进行加工，并且可以获得稳定的高质量表面。也可以在机器上进行光学显微镜测量。

■50μm方锥加工例

■切槽加工