日本东芝超精机

型号：ULG-100AC（H）

功能：超精车和超精磨一体机

出厂时间：2001年；

除了高速、高精度、高刚性、低发热性和高可靠性，还实现了精密损耗精度

研磨主轴：20nm/SPAM

工作主轴：5nm/SPAM (*1)

高可重复性，高加工效率

超低摩擦力导轨整合了本公司的原创高研磨技术和精选高精度轧辊，对纳米范围进给速率响应度高，消除了逆向进给的延迟。该导轨系统的刚性和稳定性高于静液压/空气静力轴承导轨，但精度能保持相似。

高精致加工

通过采用滚珠螺杆驱动系统，我们开发并利用*的耦合器，解决了滚珠螺杆旋转所造成的常见应力和振荡问题。

型号 ULG-100E(HY)

直线行程

轴

X 轴 (mm) 220

Y 轴 (mm) 20

Z 轴 (mm) 150

编程

分辨率 (nm) 1

工作台进给速率(mm/min)

X、Z：500

Y：   300

工作主轴

旋转速度(min-1) 0-1500

真空吸盘直径 (mm) π100

C 轴功能 配件 标配

研磨主轴速度 (min-1) 5000-40000 10000-60000

B 轴车削

工作台 进给速率（度/分钟） - 0-1080

编程

分辨率（度） - 0.0001

联系电话：13522079385