型号 |
M776 |
M7106 | |
测量范围 |
X轴 |
700mm(28″) |
700mm(28″) |
Y轴 |
700mm(28″) |
1000mm(40″) | |
Z轴 |
600mm(24″) |
600mm(24″) | |
分辩率 |
0.0005mm(.00002″) |
0.0005mm(.00002″) | |
20℃时的精度 ISO10360-2 |
E=(3.5+4.5L/1000)um R=5.0um(使用TP20) |
E=(3.5+4.5L/1000)um R=5.0um(使用TP20) |