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型号 |
M776 |
M7106 | |
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测量范围 |
X轴 |
700mm(28″) |
700mm(28″) |
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Y轴 |
700mm(28″) |
1000mm(40″) | |
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Z轴 |
600mm(24″) |
600mm(24″) | |
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分辩率 |
0.0005mm(.00002″) |
0.0005mm(.00002″) | |
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20℃时的精度 ISO10360-2 |
E=(3.5+4.5L/1000)um R=5.0um(使用TP20) |
E=(3.5+4.5L/1000)um R=5.0um(使用TP20) | |