真空载荷空气轴承

气浮垫属于单向空气轴承，结构简单便于组合使用，但是在载荷很小时承载刚度较弱，无法单独使用，因此诞生了一种产品：真空载荷空气轴承（也可叫做真空气浮垫），气膜压力支撑气垫具有向上支撑力，同时真空腔吸引气垫向下形成预载荷，使得气垫承载刚度很大、非常稳定。空气压力和真空负压都可以调整，气垫可很好适应多种用途。 现在真空发生器很普及，一个很小的气动元件，很简单地利用压力空气实现真空负压。使得真空气垫应用起来更加方便。 举一个最简单的一个应用：气浮表座。拥有一个00或000极的一个花岗岩平台、有压力气 源，将表或零件放在真空气垫上，气垫放在平台上，立刻可以进行在高精度（如μm、亚μm极 ）测量，而高精度的花岗岩平台根本不会磨损而降低精度。相对达到的精度，整个装备花费是 非常少的。