主要特征:
型号 |
Croma686 |
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行程(mm) |
X
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600
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Y
|
800
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Z
|
600
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外形尺寸(mm) |
Lx
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1150
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Ly
|
1735
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Lz
|
2647
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测量空间(mm) |
Dx
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734
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Dz
|
144
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Dz1
|
794
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承重(kg)
|
300
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机器重量(kg)
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730
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MPEe(μm) |
2.8 +L/300
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MPEp(μm) |
3.5
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光栅尺分辨率(μm) |
0.078
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空间移动速度(mm/s) |
520
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空间移动加速度(mm/S2) |
1730
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流量/供气压力(μm) |
100 NI/min. 0.45Mp
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温度 |
20±2℃
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湿度 |
45%-75%
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