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型号
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玻璃厚度及翘曲在线测量仪FL-5000
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测量范围
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根据物件尺寸定制
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外形尺寸
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根据物件尺寸定制
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激光重现性
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≤ 0.5 µm
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工作台承重（kg）
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2.5kg
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机台重量
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100kg
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测量精度
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视物件大小而定（直径100范围内，约5μm）
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控制方式
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自动
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仪器厚度測量精度
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≤ ±0.005mm
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仪器翘曲測量精度
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≤ ±0.025mm
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仪器重現精度
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≤ ±0.005mm
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仪器最高效率
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1200件/時
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检测系统
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激光位移感测系统
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电源
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220 V ± 10% ，50 Hz（用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆）
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工作环境
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20℃ ± 2℃，温度变化＜2℃/hr，湿度45% ~ 75%
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振动＜0.002g，低于15Hz
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