一.中图激光干涉仪介绍
激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测手段,在高端制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据。
二.中图激光干涉仪功能特点
1. 测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。
3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
4. 具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。
5. 内置各种类国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据,并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。
6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
7. 测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD(选配)文档。
8. 安装方便:基本重量为15kg,简单便携。
三.中图激光干涉仪技术参数
系统性能
测量方式:单频
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:5-10分钟
工作温度范围:0~40℃
环境温度范围:0~40℃
存储温度范围:-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空气湿度传感器:±6% (0-95%)
大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)
线性测量
测量距离:0-40m
测量精度:0.5ppm (0-40℃)
测量分辨率:1nm
测量最大速度:4m/sec
角度测量
轴向量程:0-15m
测量范围:±10°
测量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
测量分辨率:0.1μm/m
直线度测量
轴向量程:0.1-4.0 m
测量范围:±2.5 mm
测量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M为光学镜移动距离,单位:m)
测量分辨率:0.01μm
垂直度测量
测量范围:±3/M mm/m
测量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
测量分辨率:0.01μm/m
平面度测量
轴向量程:0-15 m
测量范围:±1.5 mm
测量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
测量分辨率:0.1μm
回转轴分度精度测量
角度测量范围:0-360°
精密转台角度增量:5°
精密转台分度精度:±1秒
精密转台重复性:0.2秒