激光干涉仪主要特色与效益1.品质管制维护 2.系统结构简单、重量轻 3.自动数据采集 4.激光准确度经由 NIST认证 5.毋须三脚架及干涉镜 6.WindowsTM软件 7.RS-232接口 8.自动环境补偿 9.支持NMTBA、、ISO及 ASME B5.54标准 主要应用 1.品质管制维护 2.超精密定位 3.CNC机床、CMM、导螺杆及 DRO直线校验 激光干涉仪的技术参数: 最大量程 100000mm 准确度 1μm/M ; 分辨率 0.01μm 最高工作速度 2400M/min