系统组成:
1. LH01-激光干涉仪头
2. PS01-电源
3. 线性测量光学仪器(L101-线性干涉仪, LR01-线性精美反射器)
5. EC01- 环境参数补偿的气象站( 温度传感器,压力传感器,空气湿度传感器和三个材料温度传感器)
6. 线性位置软件 ,根据以下标准:ISO 230-2, PN-93/M-55580/81, NMTBA, VDI/DGO 3441, BSI BS 4656 P16.
7. 线性位移测量软件,慢速度线性位移注册,FFT 分析,速度测量。
8. 电缆:
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*3 x