干涉仪分类
一些传统的干涉仪使用非同调光(通常是单色光)即可进行量测,但是由于光源同调性差,因此操作的人原不但须对干涉理论有所认识,而且也要对仪器有良好的熟练度。 1960 年高强度同调性(Coherence) 光源的雷射问世后,干涉仪才开始蓬勃地发展;干涉仪可按照形成干涉的光束数目分为双光束及多光束两大类,双光束干涉仪所产生的条纹其亮度多呈正弦曲线的分布情形,例如太曼格林 (Twyman Green) 干涉仪、菲索 (Fizeau)干涉仪、麦克詹达干涉仪 (Mach-Zender)、剪像(shearing)干涉计及麦克森 (Michelson) 干涉仪,皆属于此种双光束干涉方式,而多光束干涉仪之条纹亮度分布情形也是周期性的,但却呈狭窄的亮带,如梳状脉冲波形(Dirac comb),有名的法布里-派洛 (Fabry-Perot)干涉仪即属此类。多光束干涉仪通常是由非常的光束干涉而形成,至于三光束或四光束的干涉仪通常视为双光束干涉仪的同类,因为它们的干涉条纹特性很相近。干涉仪的另一种分类方式是依据光波分割的情形亦即分为波前分割与振幅分割两种型式。波前分割是指光束的波前经过了同一平面的一系列狭缝而产生分割,例如以双棱镜或光栅来把一道光分成二部分。振幅分割则是以部分反射装置来区分其振幅大小成二部分,例如光束经过了类似分光镜的界面而分成两道光。