ZEVAC公司近日推出了其高精度、多功能自动化工艺桌面平台与扩散器的应用。应用于不同介质扩散和零件处理的复合2D（X/Y轴）和3D（X/Y/Z轴）开放式应用领域，利用其精密和灵活的工艺创新，解决了电子元件、半导体、光电子和微电子处理或生物技术产业的市场问题。

此外还可添加使用一个或多个Z轴、Z轴和Theta轴组合的专用机器人加工头、分配加工头或高速主轴加工头。交换针可在X、Y和Z方向上进行自动校验，而扩散区可在介质扩散后，采用视觉控制方法立即进行检验。CAD数据可采用逐点、矩阵、直线、曲线或各种扩散模式输入，而X、Y和Z轴则采用同步化处理，同时扩散路径继续受到控制和进一步优化，然后可确定激光距离传感器一类周边设备的进一步连接或清洁并进行其他各项操作。