为了提高三坐标测量机的测量速度，缩短测量周期，分析了影响给定的三坐标测量机动态误差的因素。对三坐标测量机的具体结构作了分析，用电感测微仪进行了动态偏转角误差的测量，并推导出由动态偏转误差得到测头处的动态位移误差的方法。同时，对由导轨的直线度造成的误差进行了讨论。指出动态误差主要是由各构件绕气浮导轨连接处的偏转和各运动构件本身的弯曲变形造成的。从理论上可以证明，在气浮导轨力矩刚度和横梁弯曲刚度已知的情况下，只要测量出两侧气浮导轨滑架的偏转角误差，就可以得到测头位置处的动态位移误差。

  除了静态或准静态误差外，三坐标测量机测量结果的精度还受到动态误差的影响。测量机速度的加快使动态误差对测量结果的影响更大。
    随着三坐标测量机的动态误差对测量结果的影响越来越大，对三坐标测量机动态误差的研究也越来越受到人们的重视。动态误差主要是由三坐标测量机的结构特性，如质量的分布、构件刚度、阻尼特性、控制及干扰力所决定的，由各构件绕气浮导轨连接处的偏转和各运动构件本身的弯曲变形造成的［1］。当测量速度较低时，这一误差很小，可以忽略不计。当测量速度较高时，尤其在高速扫描测量中，这一误差对测量结果影响较大。

三坐标测量机运行过程中的典型负载变化情况见图1。

实验过程及结果
    在实验中，往往测量各构件绕气浮导轨连接处的偏转角误差是比较容易而且可行的。各构件的动态偏转误差综合起来，成为测头位置处的动态位移误差。测量各构件绕气浮导轨连接处的偏转角误差有很多方法，例如用激光干涉仪就可以准确地得到测量结果。但是激光干涉仪的测量结果受环境参数影响较大，对使用环境要求较高。在实际中，往往希望用较简单的方法来完成测量任务。为达到这一目的，我们在所研究的三坐标测量机上用其它方法进行了实验，采用的仪器是微位移传感器。