激光干涉仪，就是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量方法。
激光干涉仪有单频的和双频的两种：
单频激光干涉仪
双频激光干涉仪
进口激光干涉仪的进口源主要是美国，下面就介绍3家美国激光干涉仪的生产企业：
API激光干涉仪的特点：
1D激光主要可以测量定位误差和重复定位精度
3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角
在选择无线遥控传感器的情况下，最长的测量距离可到45米（80米可选）。
可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。
设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间
5D/6D激光干涉仪是API的专利产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。
测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到最小。
Optodyne MCV-2002直线位移、角偏(俯仰角、偏摆角)、直线度(水平直线度、上下直线度)、平面度测量系统
针对CNC工具机、CMM (三次元量床)及其它精密量测机器及平台校验。角度、真直度与平面度量测可以自动连续量测。采用独特的双光束设计，提供快速量测机台平面度及机器轴直线与角度误差量测。
Optodyne公司之机器校验系统采用专利之Laser DooplerDisplacement Meter (LDDMTM)技术，整套系统非常简洁，提供简单方便的保管与运输方式。
简单的安装程序可节省整体机器的校验时间，特别的是只需少量的投资，可进行多轴量测，省时省钱。
MCV-2002 双光束激光设计提供使用者简单、在单一仪器能简单操作直线和角度量测的能力，如同二个干涉仪一体，当其中一道光束监控角度资料时，另一道光束可监控直线定位情形。使用WindowsTM软件可于任何桌上型或笔记型计算机上执行，操作接口十分友善，可撷取量测资料并分析资料，分析后的数据可由屏幕显示或以表格或图形打印出来。
ZYGO公司于2014年加入AMETEK（阿美特克）集团，成为超精密技术分部的一员。AMETEK阿美特克是全球领先的电子仪器和电动机制造商。ZYGO和AMETEK集团下的子公司之间的合作和资源共享为客户提供更好的服务。
为了更好的拓展和增强干涉仪的功能，ZYGO为用户提供大量的干涉仪附件。包括：透射平面标准镜，参考平面标准镜，透射球面标准镜，参考球面标准镜，调整架，样品固定夹具，曲率半径测量附件等。众多附件可以满足客户多种测量需要。
