应日本Sony Manufacturing Systems Corporation （索尼制造系统公司）的邀请，我们到神奈川县伊势原市参观访问了该公司并与相关负责人进行了交流。现将SONY在精密检测系统及其精密制造技术方面的最新进展和公司的历史作一个介绍。
Sony Manufacturing Systems Corporation 是SONY的高新技术企业，于1969年8月1日成立，成立时的名称是Sony Magnescale Inc.（索尼磁栅尺公司），公司在神奈川县伊势原市，是世界上最先建立的磁栅尺和磁栅测量系统生产的企业。公司2006年的销售额489亿日元。磁栅尺的年销售量在70 000支。公司合并是强强联合，发挥了两个部门的资源共享，使精密测量和精密制造产业紧密结合。造就了从计划、设计、研发、生产、销售和服务为一体的综合性运营平台。
SONY 产品展示室一角
为了进一步创新，SONY公司融合了多种技术：精密测量技术、光学技术、软件技术、精密加工和制造技术。在测量系统方面有激光尺、磁栅尺、远紫外（DUV）固体激光器、半导体硅片检查系统、DVD/CD检查系统、数据记录仪；在制造设备产品方面有立体光刻机、视频显微镜、台式机器人、涂布印刷机、电子元件安装机。在器件产品方面有背光板（从背后照亮液晶显示屏的底版，主要用于手机、数码相机、笔记本电脑的液晶显示屏）、超精密模具等。
精密测量系统的成就
SONY制造系统公司辉煌的成就源于20世纪60年代最先研究开发成功磁栅尺（magnescale），创立了一种新型的磁栅测量系统，并批量用于机床数显和数控；SONY再创辉煌的是在21世纪研究开发成功激光尺（laserscale）将光栅测量技术和激光测量技术结合了起来开发出纳米级和皮米级测量系统，首先进入皮米测量时代。SONY公司在开发超精密测量系统的同时注重与相关产业的领头企业紧密协作，高效地推广应用领域。制造出了纳米级和皮米级的加工设备，如立体光刻机、半导体硅片检查系统、非球面镜加工机、硬盘加工机等。SONY参加了世界最先进的45nm的超大规模集成电路的制造设备的研制和开发，现在正在为日本制造30nm的加工设备。
在长度规环状磁头的生产线上工作人员对磁头进行严格的筛选，他们将磁头的半成品放入60℃的水中煮20min后再进行测试，一般两路正余弦信号的相位误差在15?之内就合格，而他们选择的是10?。SONY磁栅尺准确度测量室的恒温是20℃±0.2℃,洁净度10 000级，工作台花岗石气浮台，防振地基是用3根铁桩打入地下数米深的石头上建立，测量长度3m，用激光检测，测量分辨率为0.01μm。更高级的测试室恒温是20℃±0.01℃,洁净度100级，此外还有1级的无尘室，科研和背光板的制作要在那里进行。激光尺准确度测量室的测量分辨率是0.02nm，准确度是±3nm。带状磁栅尺刻录工作台长度为9m，可以刻录30m的磁栅尺，线状磁栅尺刻录工作台为3m。
SONY的测量系统按分辨率排序如下：
(1)分辨率10μm，磁栅数字尺（Digiruler）准确度在±30μm，测量长度可以到30m，如用在注塑机。
(2)分辨率5μm，用磁栅尺（Magnescale），准确度在±10μm，测量长度可以到3m，如用在手动数显机床。
(3)分辨率0.5μm、0.1μm，用磁栅尺（Magnescale）、反馈尺（Feedback Scale），准确度在±5μm、±3μm，测量长度可以到3m，如用在加工中心、数控车床、铣床、镗床、三坐标测量机等。
(4)分辨率0.1μm，用磁栅长度规（Digital Gauge），准确度在±0.5μm，如用在飞机机翼的多点测量、发动机凸轮轴的在线测量、轧钢机轧辊压下量的在线测量等。
(5)分辨率0.1μm，用超磁栅尺（Uitra Magnescale）。
(6)分辨率10nm~34pm，用激光尺（Laserscale），分辨率1nm，准确度在±1.5μm，测量长度可以到1060mm；分辨率34pm，准确度在±0.04μm，测量长度可以到40mm, 激光尺用于非球面的纳米加工机、硬盘的加工、在真空中的超精密工作台、DUV硅片缺陷自动检查系统等。
SONY的磁栅尺
1968年7月在筹备建立公司前就开始制造磁栅尺，1969年1月SONY磁栅尺公司成立，1981年2月伊势原工厂建立，磁栅尺的制造形成规模。当时磁栅的栅距是0.2mm，读取磁栅尺上的信号的磁头是采用磁通响应式磁头，并且需要对栅距进行比较高倍的细分，到1997年的直线磁栅尺（Linear scale）和磁栅测量系统最高分辨率达到0.5μm，准确度在±3μm、±5μm、±10μm，测量长度可以到3m，测量速度60m/min，防护等级到IP55。广泛用于铣床、车床和X-Y工作台的数显系统。20世纪70年代后期中国在广泛
