ZLM700双频激光干涉仪主要用于单轴系统的校准和测量,ZLM800干涉仪可从单轴拓展为多轴,广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。它能够完全计算出机械设备的运行轨迹,并通过WINDOWS™软件按用户设定的方法对其进行分析。
配用高性能蔡司光学镜头,ZLM70/800双频激光干涉仪可以完成以下各种测量工作: