本机式专为光学膜压印用辊轮的加工而设计。
可以车削超精密镜面辊轮,和雕刻V沟、波浪沟、凸透镜、微透镜及客製化微结构。
本机採用超精密气静压主轴及无摩擦液静压滑道。
直接位置回馈系统,提供10奈米位置解析度。
选择性配件有C轴、B轴、快刀伺服系统等,可以提供更高阶应用之能力。
产品规格
Nano class control system
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Unit
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Spindle
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Type
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Motorized aerostatic spindle
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Speed
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RPM
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800
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X-axis
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Stroke
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mm
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100
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Straightness
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1um/full stoke
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Z-Axis
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Stroke
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mm
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2,000
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Straightness
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2um/1,000mm
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B-axis
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stroke
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mm
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600
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Max. drum roll size
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Diameter
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mm
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300
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Length
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mm
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1,900
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Weight
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kg
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500
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Machine size
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Dimension
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m
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L2.1 x W2.2 x H4.0
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weight
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kg
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12,000
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