●具有6轴的多关节结构,可实现灵活搬运 可用于从立式收纳盒中取出基板以及伴有倾斜、翻转等姿势变换的所有搬运工作 ●拥有充足的可搬运能力的长臂延伸模式 有能处理G10基板的臂长,其行程最大延伸至3.6m、上下行程为4.8m 工作范围