中图仪器SJ6000激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。

中图仪器SJ6000激光干涉仪性能特点：

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

中图仪器SJ6000激光干涉仪技术参数：

系统性能

测量方式：单频

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%

存储温度范围：-20℃~70℃

环境补偿示值误差

空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

空气湿度传感器：±6% (0-95%)

大气压力传感器：±0.1kPa

 线性测量

测量距离：0-40m

测量精度：0.5ppm (0-38℃)

测量分辨率：1nm

测量最大速度：4m/s

中图仪器SJ6000激光干涉仪配置：