一、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4产品特点

1、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4配置伺服修盘系统，确保磨盘足够的平坦度。

2、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4采用磨盘在线检测恒温系统，防止工件变形及脱片。

3、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4采用多段货柔性加压系统，满足复杂的加工工艺要求。

4、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4配置数字化加液系统，减少磨液损耗。

5、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4采用四工位独立变速控制系统。

二、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4应用领域

东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4主要应用于半导体材料、精密光学、晶体材料等研磨加工。

1、半导体材料包括Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等。

2、精密光学包括光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等。

3、晶体材料包括铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等。

三、东莞金研精密四工位CMP抛光机KD36QS4技术参数