一、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4产品介绍

东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4为单面精密研磨抛光设备，被磨、抛工件放于研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，通过摩擦力使工件自转，及加压重块对工件施压，工件与研磨盘作相对运转摩擦，来达到对工件的研磨抛光目的。

东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4可应对高精度少量的研磨加工。

二、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4产品特点

1、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4配置伺服修盘系统，确保磨盘足够的平坦度。

2、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4采用磨盘在线检测恒温系统，防止工件变形及脱片。

3、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4采用多段柔性加压系统，满足复杂的加工工艺要求。

4、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4配置数字化加液系统，减少磨液损耗。

5、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4采用四工位独立变速控制系统。

三、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4应用领域

东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4主要应用于以下材料的研磨抛光：

1、半导体材料，包括Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等；

2、精密光学材料，包括光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等；

3、晶体材料，包括铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等。

四、东莞金研CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4技术参数