F25
 
不管是微电机，微型开关或其他精细组建 ，用F25可以高精度测量微系统技术的每个工件。

精确至纳米

Carl Zeiss的三坐标测量机F25提供了满足质量保证中对工件形状，位置和尺寸的特别需求的解决方案。微系统技术组件将被用于汽车零部件和医疗仪器上，并且在高精度控制和调节过程中起到决定性作用。此精细工件质量监控的精度决定了零部件使用时的可靠性。

  
接触扫描和ViScan光学传感器      极小部件的测量

重要特征

 超精密运动学与高精度测量系统的完美组合，分辨率为7.5nm，测量精度高达250nm
 配置了Carl Zeiss三坐标测量机中久经考验的CALYPSO测量软件

机器技术
 灵活的多传感器技术：同一系统采用接触和光学测量
 其接触式被动扫描传感器使用的是带有集成压阻组件的硅芯片
 使用Zeiss显微技术镜头的光学影像传感器VISCAN，可用于二维测量
 附加的相机支持测量时的可视化操作，并且便于示教编程

  
接触扫描传感器                 测量应用范围广

选项

 灵敏的三维探针测杆直径50至500µm，探测头直径100至700µm