特征：
行程：200*200~300*300 平面度：±4μm 重现度：±1μm 绝对精度：±4μm 适配无尘室100，10 适配真空度10~3mbar 适用范围广泛，可根据客户需要提供整合动子模组及不同型式导轨的订制产品或组合产品，并在短期内提供客户最佳的品质 交货迅速 应用：
无尘室环境 WAFER加工、检测 激光加工机 Stencill Laster
