一、北京博鲁斯潘VG系列超精密纳米光学数控磨床产品介绍
北京博鲁斯潘VG系列超精密纳米光学数控磨床是一款高刚性、高精度、实现超光滑表面的超精密数控磨床产品,VG 系列主要应用于光学领域超精密关键元器件表面超光滑磨削。
二、北京博鲁斯潘VG系列超精密纳米光学数控磨床产品亮点
1、高精度,主轴跳动标配2μm,可选0.5-0.05μm;
2、-X/Z轴定位精度1μm;X/Z轴重复定位精度0.5μm。
三、北京博鲁斯潘VG系列超精密纳米光学数控磨床应用领域
北京博鲁斯潘VG系列超精密纳米光学数控磨床主要应用于光学领域超精密关键元器件表面超光滑磨削,如光刻机精密零件,衍射光学、几何光学零件的超精密磨削加工。
四、北京博鲁斯潘VG系列超精密纳米光学数控磨床技术参数
项目 | 规格 | 单位 | 500VG CNC | 700VG CNC | 800VG CNC | 1000VG CNC | 1200VG CNC |
行程 | X轴行程 | mm | 600 | 700 | 750 | 850 | 950 |
Y轴行程 | mm | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 | |
主轴 | 径向跳动 | μm | 标配2μm,高配可选:0.5 – 0.05μm | ||||
轴向窜动 | μm | 标配2μm,高配可选:0.5 – 0.05μm | |||||
最大砂轮线速度 | m/s | 35 | |||||
转台 | 直径 | mm | 500 | 700 | 800 | 1000 | 1200 |
径向跳动 | μm | 0.05 | |||||
轴向窜动 | μm | 0.05 | |||||
精度 | X/Z定位精度 | μm | ±1(0.3可选 ) | ||||
X/Z重复定位精度 | μm | ±0.5(0.1可选 ) | |||||
进给系统 | 最小执行进给当量 | μm | 0.1 |